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母合金摻雜劑
■摻雜，又稱配料，摻雜的目的主要是用來改變硅熔體中施主雜質(zhì)（如磷）或受主雜質(zhì)（如硼）的雜質(zhì)濃度，使其生長出的單晶電阻率達(dá)到規(guī)定的要求。所謂“母合金”就是雜質(zhì)元素與硅的合金。本公司提供以下多種類型母合金：
■形狀
■塊狀
■片狀
■棒狀
■摻雜類型
■硼
■磷
■型號(hào)
■P型
■N型
■電阻率
■0.001-0.006 Ω.CM
■確保每段電阻率偏差在0.001或0.0005范圍內(nèi)
■濃度
■硼含量(atom/cm3)=1.1732E20～1.6184E19
■磷含量(atom/cm3)=7.3763E19～9.6552E18
■碳含量(atom/cm3)<5E16
■氧含量(atom/cm3)<1E18
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